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超薄金刚石切割片的研究及应用现状

超薄金刚石切割片的研究及应用现状

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来源:
2018/12/20 16:17
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超薄金刚石切割片,由于具有超薄切割槽宽,切割断口平滑,废品率低,切割效率高等优点,已逐步得到人们的重视。
太阳能作为一种取之不尽的清洁能源,它的开发利用正引起人类的极大关注,商业化利用太阳能已成为世界趋势。太阳能电池就是由此而诞生的太阳能利用工具。硅系的太阳能电池包括:单电池、多薄膜电池等,其中单大阳能电池转换效率最高,光电转换率可以达到23%,在现阶段的大规模应用和工业生产中占据主导地位。近年来,随着半导体制造技术的不断成熟完善,硅片制造成本不断降低,但是太阳能电池所用硅片的切割成本却一直居高不下,要占太阳能电池总制造成本的30%以上。为了降低硅片加工期间发生崩边的可能性,提高材料利用率,硅片的切割倾向于使用薄刀片。目前使用的普通刀片可大致分为厚度15~100μm的电镀刀片和100~500μm的树脂刀片两种。在我国,目前生产电镀超薄金刚石切割片技术还不成熟,主要还处于试验研究阶段,生产所需的超薄金刚石切割片主要依赖从美国、德国和日本进口,因此,高精度金钢石切割工具的研制技术是我国工具及微电子行业迫切需要解决的问题。
随着科技的发展和人民生活水平的提高,片的需求量与日俱增,片质量的提升对超薄金刚石切割片的意义越来越大,但国内尚未有一种成熟的工业制造方法,大量依赖进口产品,价格较高,因而其应用得到了明显的制约。在多种制造方法中,电镀法以其设备简单、绿色环保、可循环生产等优点成为最有可能大规模工业应用的制备方法。如果能够采取一定的措施,进一步缩短制造过程所用的时间和改善镀液的性能,那么超薄金刚石切割片的制备及应用将会有一个显著的发展和一个质的飞跃。

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